13951825145
簡(jiǎn)要描述:薄膜測厚儀采用光譜干涉原理進(jìn)行測量,具有非接觸、無(wú)破壞、快速等特點(diǎn),可在真空環(huán)境使用;可與大行程工件臺配合,實(shí)現大面積膜厚自動(dòng)測量。
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芯片表征設備
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